石墨烯CVD制備設(shè)備
這款配置的低真空CVD系統(tǒng)由1200℃真空管式爐,3通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶(hù)需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)),可預(yù)抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量控制器和浮子流量控制器〕。真空泵、閥均釆用進(jìn)口設(shè)備,性能可靠??刂齐娷Q選用模糊PD程控技術(shù),具有控溫精度髙,溫沖幅度小,性能可靠,簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。石墨烯CVD制備設(shè)備
型號(hào): 廠商性質(zhì):代理商
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