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顯微鏡物鏡掃描臺(tái)
顯微鏡物鏡掃描臺(tái)：上海昊量推出的物鏡掃描臺(tái)采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)硅傳感器使平移臺(tái)擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺(tái)的精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。

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超小型亞微米AF自動(dòng)聚焦模塊
超小型亞微米AF自動(dòng)聚焦模塊是集成了微型壓電馬達(dá)、內(nèi)置控制器、位移傳感器和微處理器于一體的微機(jī)械模塊。

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