Microlight3D是一家生產(chǎn)用于工業(yè)和科學(xué)應(yīng)用的高分辨率微尺度2D和3D打印系統(tǒng)的專業(yè)制造商。智能UV打印(SP-UV)系統(tǒng)，是該公司新產(chǎn)品。這是一種配有一個(gè)385 nm的紫外LED光源，基于DMD（Digital Micromirror Device）的全新無(wú)掩模光刻系統(tǒng)，因此SP-UV可以兼容所有標(biāo)準(zhǔn)的微電子光刻膠，包括微流體應(yīng)用中*的i-line光阻劑SU-8。這一特點(diǎn)為半導(dǎo)體加工領(lǐng)域的開發(fā)人員，在光刻膠材料的選擇上提供了更加廣闊的空間。

DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)SP-UV的優(yōu)勢(shì)之一是對(duì)DMD光學(xué)投影技術(shù)的應(yīng)用。這一技術(shù)在提高直寫精度和速度的同時(shí)，提供了四種不同的直寫分辨率。搭配Microlight3D的“快速切換"物鏡系統(tǒng)，僅需2秒就能完成分辨率切換。

Microlight3D執(zhí)行官Denis Barbier表示:“Microlight3D的SP-UV技術(shù)可以與更廣泛光刻膠材料相兼容。在為無(wú)掩模光刻的應(yīng)用開拓了新的領(lǐng)域的同時(shí)，滿足了開發(fā)人員對(duì)多功能性和可負(fù)擔(dān)性的需求。"“我們使芯片實(shí)驗(yàn)室和其他領(lǐng)域(光電子學(xué)、MEMS、自旋電子學(xué))的研究人員可以更容易、更快速地在較大表面積上(120x120 mm2)，加工微米分辨率的復(fù)雜結(jié)構(gòu)。由于該系統(tǒng)集成度非常高，使各種用戶都可以無(wú)障礙的使用，我們也因此希望SP-UV在微流體以及各個(gè)領(lǐng)域中的小批量生產(chǎn)上開辟新的市場(chǎng)機(jī)會(huì)。"

無(wú)掩膜光刻機(jī)SP-UV的另一大優(yōu)勢(shì)是具備精心挑選的物鏡焦距范圍，以允許較長(zhǎng)工作距離(可達(dá)3厘米)。這意味著SP-UV可以用于非標(biāo)準(zhǔn)基底，包括那些彎曲（比如光學(xué)鏡片）、柔性或者較厚的。而競(jìng)品機(jī)型的工作距離通常較短，在處理非平坦基底時(shí)非常困難。

無(wú)掩膜光刻機(jī)SP-UV的385nm紫外光源配有一個(gè)反饋相機(jī)，使聚焦更容易，并同時(shí)用于檢查和校準(zhǔn)。作為一種新的投影技術(shù)，385nm的LED光源與高性能電動(dòng)位移臺(tái)相結(jié)合，使開發(fā)人員能夠在微米分辨率的水平上 進(jìn)行快速微結(jié)構(gòu)制造。

該系統(tǒng)配套的高性能電動(dòng)位移臺(tái)，提高了準(zhǔn)精度的同時(shí)，也降低了拼接誤差。設(shè)備核心被封裝在具有紫外線保護(hù)的包裝的空間內(nèi)，使其可以在通常環(huán)境下安全使用。

無(wú)掩膜光刻機(jī)SP-UV可以達(dá)到目前直寫速度等級(jí)(高達(dá)1000mm2/min)；當(dāng)分辨率為6μm時(shí)，其速度是其他品牌類似產(chǎn)品的兩倍，而當(dāng)分辨率為15μm時(shí)，其速度可達(dá)其他品牌類似產(chǎn)品的10倍。

關(guān)于生產(chǎn)商：

Microlight3D是高分辨率 微尺度 2D和3D打印系統(tǒng)的專業(yè)制造商。Microlight3D致力于滿足科學(xué)家和工業(yè)研究人員新的設(shè)計(jì)加工需求，以及高精度生產(chǎn)任何幾何或非幾何形狀的微型零件。通過(guò)結(jié)合2D和3D微納打印技術(shù)，Microlight3D為客戶提供了制造更大尺寸復(fù)雜部件的靈活性。它的目標(biāo)是為未來(lái)的新興領(lǐng)域提供更快、更復(fù)雜的微型制造系統(tǒng)。Microlight3D的設(shè)備現(xiàn)用于微光學(xué)、微流體、微機(jī)器人、超材料、細(xì)胞生物學(xué)和微電子學(xué)等。

Microlight3D在2016年成立于法國(guó)格勒諾布爾，在Grenoble Alpes大學(xué)(UGA)進(jìn)行了超過(guò)15年的3D微納打印技術(shù)研發(fā)。

上海昊量光電作為Microlight3D在中國(guó)大陸地區(qū)大的代理商，為您提供專業(yè)的選型以及技術(shù)服務(wù)。對(duì)于Microlight3D有興趣或者任何問(wèn)題，都?xì)g迎通過(guò)電話、電子郵件與我們聯(lián)系。

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